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重庆液晶面板低成本光刻工艺取得突破

重庆液晶面板低成本光刻工艺取得突破

dvbcn编辑 8年前 (2017-01-17) 2851
从中国科学院重庆绿色智能技术研究院获悉，该院成功研制了用于微电子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模组”及用于PCB、液晶...

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